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卡盘驱动装置和基底处理设备

日期:2021-01-10 16:41 作者:摩纳哥城赌场

  卡盘驱动装置和基底处理设备_数学_自然科学_专业资料。(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN110911296A (43)申请公布日 2020.03.24 (21)申请号 CN9.6

  (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN110911296A (43)申请公布日 2020.03.24 (21)申请号 CN9.6 (22)申请日 2019.08.15 (71)申请人 三星电子株式会社 地址 韩国京畿道水原市 (72)发明人 洪尚儁;金正才;朴相玄;小野一也;禹时雄 (74)专利代理机构 北京铭硕知识产权代理有限公司 代理人 刘灿强 (51)Int.CI 权利要求说明书 说明书 幅图 (54)发明名称 卡盘驱动装置和基底处理设备 (57)摘要 提供一种卡盘驱动装置和基底处理设备。 所述卡盘驱动装置包括在第一方向和第二方向上 延伸的基体。第二方向与第一方向交叉。卡盘驱 动装置还包括:滑块,布置在基体上并被构造为 在与第一方向和第二方向基本垂直的第三方向上 移动;以及气缸,布置在基体上并在第三方向上 支撑滑块。卡盘驱动装置另外包括电机组件,所 述电机组件布置在基体上,围绕气缸,并且被构 造为在第三方向上驱动滑块。电机组件包括:线 圈基体,具有围绕气缸的侧面设置的中空部分; 线圈组件,布置在线圈基体上并围绕气缸的侧面 设置;以及磁体组件,与线圈组件的一部分相 邻。 法律状态 法律状态公告日 2020-03-24 2020-03-24 2020-04-17 法律状态信息 公开 公开 实质审查的生效 法律状态 公开 公开 实质审查的生效 权利要求说明书 卡盘驱动装置和基底处理设备的权利要求说明书内容是....请下载后查看 说明书 卡盘驱动装置和基底处理设备的说明书内容是....请下载后查看

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